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¿¨ÅÌÒƶ¯Æ½Ì¨£¨±ê×¼ÉèÖã©
| XYÐг̹æÄ£ | 150mm*150mm/200mm*200mm/300 mm x 300 mm |
| XY×î¼ÑÐÐ³Ì | 300mm x 300 mm£¨Öª×ã´ó¹æÄ£Ðг̲âÊÔ£© |
| Òƶ¯¾«¶È/Çø·ÖÂÊ | < 1.0 ?m (~1 mm/rev) |
| ƽÃæÐÔ | ¡À5?m |
| thetaÐÐ³Ì | ´Öµ÷£º360¡ã |
| ΢µ÷¾«¶È£º¡À 8.0¡ã | |
| Çø·ÖÂÊ£º7.5 x 10-3 gradient | |
| Ô˶¯¿ØÖÆ | Æø¿Ø+´óÊÖ±ú¿ØÖÆ |
| ZÖá¿ìËÙÉý½µ | ¿ìËÙÉý½µ£º3mm |
| ΢µ÷Éý½µ£º0-13mm,¾«¶È£º¡Ü2?m |
ÊÖ¶¯ÏÔ΢¾µÆ½Ì¨
| Òƶ¯¹æÄ£ | 50 mm x 50 mm |
| Òƶ¯Çø·ÖÂÊ | ¡Ü2?m |
| ÏÔ΢¾µZÉý½µ | 25mm-100mm *È¡¾öÓÚÏÔ΢¾µÉèÖà |
| Æø¶¯Éý½µ50mm | |
| Ô˶¯¿ØÖÆ | ×ÔÁ¦¿ØÖƵÄXºÍYÐýÅ¥ |
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| ÖÊÁÏ | ¸Ö¶ÆÄø |
| ×î´óÕë×ùÊýÄ¿ | 8 DC and 4 RF(È¡ÓÚÕë×ùÉèÖÃ) |
| ¿¨Å̵½Õë×ùƽ̨ϵ×Ãæ×î¼Ñ¾àÀë | 8mm£¨¿¨ÅÌÉÏÍâòÓëÕë×ùƽ̨ÏÂÍâò£© |
| Z-heightÔ˶¯¹æÄ£ | Max.0-40mm (È¡ÓÚ¿¨ÅÌÉèÖÃ) |
| Õë×ùƽ̨Éý½µ | 3¶Î£ºÊèÉ¢(300?m)£¬£¬ £¬£¬£¬£¬¿¨ÅÌ×°ÔØ(2-5mm),²»ÖÐÖ¹Éý½µ£¨0-40mm) |
| ½Ó´¥Öظ´ÐÔ | < ¡À1?m |
| RF Õë×ùÀο¿ | ´ÅÁ¦Îü¸½/Õæ¿ÕÎü¸½ |
| DC Õë×ùÀο¿ | ´ÅÁ¦Îü¸½/Õæ¿ÕÎü¸½ |
£¨*¹æ¸ñºÍÉè¼ÆÈôÓиü¸Ä£¬£¬ £¬£¬£¬£¬Ë¡²»ÁíÐÐ֪ͨ¡£¡£¡£ ¡£¡£¡£ ¡££©
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